詳細(xì)摘要: 通過橢偏參數(shù)、透射/反射等參數(shù)測量,實(shí)現(xiàn)各種單層到多層的各向同性/各向異性薄膜膜厚、光學(xué)常數(shù)快速表征
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詳細(xì)摘要: 通過橢偏參數(shù)、透射/反射等參數(shù)測量,實(shí)現(xiàn)各種單層到多層的各向同性/各向異性薄膜膜厚、光學(xué)常數(shù)快速表征
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